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行业动态
半导体气相沉积(CVD)工艺巡检-便携式H2氢气检测仪-深国安
半导体气相沉积(CVD)工艺便携式H2氢气检测仪应用背景：
在半导体气相沉积工艺里，氢气常作为载气或反应气体。它具有易燃易爆的特性，爆炸极限范围是4% - 75%(体积分数)。在CVD工艺巡检时，由于工艺区域设备众多、管道复杂，氢气可能在一些隐蔽位置泄漏，若不能及时发现，遇到点火源就会引发爆炸或火灾，严重威胁人员安全、设备正常运行以及产品质量。所以，使用便携式H?氢气检测仪进行巡检十分必要，它能快速、灵活地检测不同位置的氢气浓度，及时发现泄漏隐患。
CVD 工艺中氢气泄漏多为微量(初期泄漏浓度常低于 1% VOL)，但需在达到爆炸极限前及时预警。SGA-606便携式H2氢气检测仪采用进口热传导传感器 ，具备超高检测精度：检测范围覆盖 0-100% VOL，最低分辨率达 0.01% VOL，检测误差≤±1% F.S，可精准识别 0.1% VOL 的微量泄漏;T90 响应时间≤15秒，比常规电化学传感器快 30%，能快速捕捉 CVD 设备管路接头、反应腔室门密封处的突发泄漏，避免泄漏气体扩散后形成安全隐患。
通常CVD工艺环境中存在硅烷(SiH?)、氨气(NH?)、乙硼烷(B?H?)等多种工艺气体，常规氢气检测仪易受交叉干扰导致数据失真。半导体气相沉积(CVD)工艺专用便携式H2氢气检测仪通过双通道气体过滤系统与智能算法补偿技术，内置聚四氟乙烯过滤膜可拦截硅烷、硼烷等腐蚀性气体，避免传感器中毒;同时通过算法自动抵消氨气等气体对检测信号的影响，确保在多气体共存环境中，氢气检测数据准确率仍保持 99% 以上，适配 CVD 工艺巡检的复杂气体场景。
半导体气相沉积(CVD)工艺专用便携式H2氢气检测仪，外观笑气轻便，重量仅300g(约相当于一部手机重量)，机身设计符合人体工学，握持处采用防滑硅胶材质，长时间手持无疲劳感;配备5000mAh 高容量锂电池，单次充电可连续检测 18小时，支持USB快充(充电1小时可续航 6 小时)，即使中途电量不足，也能快速补电，完全满足单班巡检需求。
半导体气相沉积(CVD)工艺专用便携式H2氢气检测仪支持本地存储 + 无线传输双重数据管理：本地可存储 10 万条检测数据(含时间、浓度、位置信息)，存储周期无限制;同时具备蓝牙、GPRS、WiFi等传输功能，可实时将巡检数据上传至车间 MES 系统(制造执行系统)或安全管理平台，数据自动生成 Excel 报表，无需人工录入，减少数据误差，满足《半导体行业气体安全管理规范》中对巡检数据可追溯的要求。
便携式H2氢气检测仪使用方法
?开机前检查?：检查检测仪的外观是否完好，传感器是否清洁，电池电量是否充足。
?开机校准?：按照仪器说明书的要求进行开机操作，并进行零点校准和量程校准，确保检测仪的准确性。
?巡检路线规划?：根据CVD工艺区域的布局和设备分布，规划合理的巡检路线，确保覆盖所有可能存在氢气泄漏的部位，如氢气供应管道、反应设备、阀门连接处等。
?检测操作?：在巡检过程中，将检测仪的进气口靠近检测部位，保持适当的检测距离和时间，等待检测仪显示稳定的氢气浓度数值。如果浓度超过安全阈值，检测仪会发出声光报警信号，巡检人员应及时采取措施，如停止设备运行、通风换气等。
?数据记录?：记录每次检测的时间、地点和氢气浓度数值，以便后续分析和追溯。
日常维护与保养
?定期校准?：按照规定的时间间隔对检测仪进行校准，一般每3 - 6个月校准一次，确保检测仪的准确性和可靠性。
?传感器维护?：定期清洁传感器，避免传感器受到灰尘、油污等污染。如果传感器出现故障或性能下降，应及时更换。
?电池维护?：注意电池的使用和充电，避免电池过放或过充。长期不使用时，应将电池取出并妥善保存。
?存放环境?：检测仪应存放在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，避免受到高温、高湿、强电磁场等因素的影响。
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