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上海客户半导体项目70套可燃气体检测仪-应用案例-深国安
近日，深国安批量出货上�？突О氲继逑钅慷ㄖ�70套可燃气体检测仪，将全面服务于芯片制造全流程的可燃气体安全管控，为光刻、蚀刻、薄膜沉积等关键工艺筑牢安全防线。
项目背景：
半导体生产过程涉及到众多复杂的工艺环节，其中不乏大量易燃易爆气体的使用。例如，在芯片制造的光刻、刻蚀、沉积等工艺中，氢气、硅烷、磷烷等气体被广泛应用。这些气体在特定的浓度和条件下，一旦发生泄漏，与空气混合形成爆炸性混合物，遇到火源或静电等能量激发，就可能引发剧烈的爆炸事故，不仅会造成设备损坏、生产中断，还会严重威胁到现场工作人员的生命安全，给企业带来巨大的经济损失和不良的社会影响。
在此背景下，为了进一步提升生产安全性，保障生产的稳定运行，该客户决定对其生产车间的可燃气体监测系统进行升级改造。经过深入的市场调研和严格的产品筛选，客户最终选择了深国安作为合作伙伴，定制70套SGA-500专门适用于半导体生产环境的可燃气体检测仪。
此次交付SGA-500可燃气体检测仪设备基于客户项目需求定制，核心适配半导体行业严苛标准：其一，检测性能聚焦半导体工艺常见可燃气体(如氢气、甲烷、异丙醇等)，采用催化燃烧 + 红外双传感技术，检测范围 0-100% LEL，精度≤±3% F.S.，响应时间≤10秒，可捕捉 ppb 级微量泄漏，完全满足半导体车间对可燃气体监测的高精度要求;其二，洁净与防爆性能达标，SGA-500可燃气体检测仪机身采用 316L 不锈钢一体成型，表面粗糙度 Ra≤0.8μm，符合 Class 100 洁净标准，无颗粒脱落风险，防爆等级达CT6，适配半导体特气间、工艺腔室周边等 1 区危险环境;其三，功能�？榘葱瓒ㄖ疲�45套设备搭载 4G/NB-IoT 无线传输�？椋墒凳倍越涌突� MES 系统与深国安云端管理平台，支持远程查看浓度曲线、报警联动;25套检测仪配置本地声光振动三重报警(90dB 声光 + 500Hz 振动)，适配车间环境现场预警。
作为半导体气体检测领域的深耕企业，深国安已累计为中芯国际、华虹半导体等50余家半导体企业提供定制化解决方案，此次 70 套批量交付再次验证其在 “定制化设计 + 规模化交付 + 行业场景适配” 的综合实力，为半导体行业安全装备采购提供可靠选择。
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