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行业动态
半导体巡检便携式氯气检测仪-带计量报告-深国安
氯气(Cl?)是半导体制造中光刻、蚀刻工艺的关键辅助气体，兼具高毒(MAC=1mg/m?≈0.3ppm)、强腐蚀性、刺激性，微量泄漏即可引发呼吸道灼伤、设备腐蚀，甚至导致产线停摆，对半导体洁净车间(Class 10~1000 级)的安全巡检提出严苛要求。半导体巡检便携式氯气检测仪是深国安专为移动监测场景设计，以 “轻量化、高精度、抗干扰、适配洁净环境” 为核心，成为半导体车间设备巡检、气瓶更换、管道维护的安全必备工具。
半导体巡检便携式氯气检测仪搭载进口电化学传感器(针对氯气强氧化性优化电极涂层与电解液配方)，有效抵御半导体车间氩气、氮气、硅烷等背景气体干扰，检测量程覆盖 0-10ppm(常规)/0~50ppm(扩展)，分辨率达 0.01ppm，响应时间(T90)≤10 秒，测量精度≤±3% F.S.，能快速捕捉 ppm级微量泄漏，避免漏报、误报。传感器具备抗湿、抗粉尘设计，配合可更换式粉尘过滤器，延长使用寿命至 2-3 年，降低运维成本。
针对半导体巡检的移动需求，SGA-606半导体巡检便携式氯气检测仪采用轻量化设计(重量≤280g)，配备防滑握柄与腰挂卡扣，方便巡检人员随身携带;2.5 寸高清彩屏支持强光下清晰显示，操作界面简洁直观，一键开机即可进入检测模式，无需复杂设置。内置大容量锂电池，续航超 12 小时，支持 USB 快充(2 小时充满)，满足全天巡检需求;采用泵吸式采样设计，搭配 3 米伸缩采样探杆，可深入气瓶柜、设备间隙、管道接口等人工难及区域，精准采集气体样本。
半导体巡检便携式氯气检测仪防护等级达IP65，可耐受 - 20℃~60℃宽温与低湿度环境，无惧强电磁干扰。设备具备多重安全功能：预设三级报警阈值(预警 0.1ppm、报警 0.2ppm、紧急报警 0.3ppm)，触发后启动声光振动三重报警，确保巡检人员及时察觉;半导体巡检便携式氯气检测仪内置 10 万条数据存储，支持蓝牙 / USB 导出，满足半导体行业合规追溯需求;配备传感器自诊断与低电量提醒功能，保障巡检过程中设备稳定可靠。
半导体巡检便携式氯气检测仪整机通过CPA 计量认证、Ex ia IIC T4 Ga 防爆认证，符合《半导体工厂安全规范》《工作场所有害因素职业接触限值》等标准，适配半导体芯片制造、集成电路封装、光伏电池生产等场景的巡检需求，为氯气使用全流程的移动监测提供精准、便捷的安全保障，守护巡检人员健康与产线稳定。
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