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化学气相沉积(CVD)工艺-IPA异丙醇检测仪解决方案-深国安
化学气相沉积(CVD)工艺异丙醇检测仪应用背景：
在半导体湿法清洗干燥工艺中，异丙醇(IPA)是一种常用的有机溶剂。它具有易挥发、易燃的特性，其闪点较低，一般在12℃左右，爆炸极限范围为2.0% - 12.7%(体积分数)。在工艺过程中，异丙醇可能会因为设备泄漏、操作不当等原因挥发到空气中，形成可燃性蒸汽混合物。若这些混合物达到爆炸极限，遇到点火源就会引发爆炸或火灾，严重威胁人员安全、设备正常运行以及产品质量。所以，使用专用的气体检测仪进行实时监测十分必要，它能及时发现异丙醇泄漏，避免事故的发生。
湿法清洗干燥工艺IPA核心风险场景：
1.干燥阶段浓度失衡：IPA 蒸汽干燥时，浓度过低(<80% VOL)会导致晶圆干燥不彻底、产生水痕;浓度过高(>95% VOL)易形成过饱和蒸汽，冷凝后污染晶圆表面，同时增加爆炸风险。
2.储存与输送泄漏：IPA 储罐、输送管路(PP 材质)因阀门老化、接头松动泄漏，蒸汽在车间积聚，达到爆炸极限后遇静电(如清洗设备电机火花)易引发爆炸，且高浓度蒸汽(≥1000ppm)会刺激操作人员呼吸道。
3.清洗后残留超标：清洗槽内 IPA 未彻底漂洗(残留≥50ppm)，会与后续光刻胶发生化学反应，导致光刻图形畸变，影响芯片电路精度。
4.高温环境检测偏差：干燥阶段 IPA 蒸汽加热至 60℃-80℃，普通检测仪易因高温导致传感器漂移，无法精准捕捉浓度变化。
化学气相沉积(CVD)工艺异丙醇检测仪布设方案
1.IPA储存与输送环节
储罐区：在 2 个 500L IPA 储罐顶部(气相空间)各安装 1 台固定式检测仪，采样口朝向安全阀;储罐间门口安装 1 台防爆型检测仪，监测区域泄漏浓度，联动防爆排风系统(风量≥1000m?/h)。
输送管路：沿 IPA 输送主管路(从储罐至清洗设备)每 10 米安装 1 台固定式检测仪，接头、阀门处加密至每 5 米 1 台，采用抱箍式安装(紧贴管路外壁)，泄漏时通过管路温度变化辅助定位漏点。
2.清洗与干燥工艺环节
清洗槽：在每个湿法清洗槽上方(距槽口 30cm)安装 1 台固定式检测仪，监测清洗过程中 IPA 挥发浓度，浓度≥1000ppm 时启动局部排风;清洗后用便携式检测仪抽检晶圆残留，每批次抽检 3-5 片。
干燥腔室：在 IPA 蒸汽发生器出口管路安装 1 台 检测仪，实时传输浓度数据至干燥设备控制系统;腔室顶部安装 1 台复合型检测仪(同时检测 IPA 与氧气)，氧气浓度≤19.5% VOL 时预警缺氧风险(IPA 蒸汽挤占空气)。
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