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行业动态
半导体巡检机器人专用H2氢气报警仪-无线连平台-深国安
半导体巡检机器人专用H2氢气报警仪介绍：
在半导体制造中，氢气广泛用于 CVD、外延生长等工艺，而巡检机器人是覆盖气柜、管路、设备等区域的核心巡检载体。但氢气爆炸极限宽(4.0%-75.6% VOL)、扩散速度快，机器人巡检路径上的管路接头微漏、设备密封失效等问题，易导致氢气泄漏风险。针对机器人移动巡检与远程监控需求，半导体巡检机器人专用H2氢气报警仪凭借无线连平台、轻量化设计及高精度检测能力，成为机器人巡检的 “安全哨兵”。
半导体巡检机器人专用H2氢气报警仪采用进口传感器技术，常规兼容催化燃烧，热传导，电化学等原理，检测范围覆盖0-100% LEL、10000PPM、0-100%VOL，分辨率低至 0.1% LEL，检测精度≤±3% F.S，可精准捕捉 0.5% LEL 的微量氢气泄漏，T90 响应时间≤15秒，适配机器人快速移动巡检场景，避免漏检瞬时泄漏。机身采用高强度铝合金材质，支持卡扣式安装，可灵活固定于机器人机械臂或机身，不影响机器人运动灵活性;防护等级达 IP67，耐受半导体车间清洁喷淋与粉尘，适应机器人多场景巡检环境。
半导体巡检机器人专用H2氢气报警仪在于多模无线传输能力：支持4G、WIF、GPRS等无线方式，可实时将氢气浓度、设备状态等数据上传至车间监控平台或物联网平台，确保平台实时掌握巡检区域风险;同时具备边缘计算功能，若检测到氢气浓度≥10% LEL，可本地触发声光报警(分贝值≥80dB)，并通过无线信号联动机器人暂停巡检、定位泄漏点位，同步推送预警信息至平台与运维人员终端。
H2氢气报警仪支持与机器人巡检系统协同：可预设检测点位阈值，当机器人抵达气柜、管路接头等重点区域时，自动提升检测频率(从 1 次 / 秒增至 5 次 / 秒);数据可与机器人巡检轨迹叠加，在平台生成 “浓度 - 位置 - 时间” 三维图谱，便于追溯泄漏源头。内置可充电锂电池，单次续航≥12 小时，支持机器人充电时同步补电，满足半导体车间 24 小时不间断巡检需求，为氢气安全防护提供自动化、智能化保障。
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