热销产品 / Hot Products
最新资讯 / Latest Products
全国统一销售热线
0755-85258900
0755-85258903
0755-84656505
0755-84656716
行业动态
半导体钢瓶柜二氯硅烷检测仪系统-配套监控平台-深国安
半导体钢瓶柜二氯硅烷检测仪系统应用背景：
在半导体制造中，二氯硅烷(SiH?Cl?)是硅外延生长、氮化硅薄膜沉积的关键原料，常存储于专用钢瓶柜中。但二氯硅烷具有剧毒(职业接触限值仅 0.5ppm)，遇空气易挥发形成腐蚀性蒸汽，且钢瓶柜密闭空间会加速浓度累积 —— 哪怕钢瓶阀门微漏、管路接头密封失效，短时间内就可能达到�：︺兄担踩嗽苯】涤肷璞赴踩Ｕ攵愿制抗竦男孤┓缦沼肟焖傧煊π枨螅氲继甯制抗褡ㄓ肧GA-900二氯硅烷检测仪以 5 秒极速响应为核心优势，成为钢瓶柜存储安全的 “即时防线”。
SGA-900二氯硅烷检测仪系统是一款专门半导体钢瓶柜所研发的气体检测设备，该产品集气体采样、气体过滤、气体干扰、流量控制、实时浓度显示、无线数据上传、环保联网、本地声光报警、设备联动等功能为一体的标准化、�？榛�、专业化二氯硅烷检测仪系统集成设备。产品采用专业三防设计，直接户外使用，系统经主动采样、专业除水除尘干燥过滤后，再进入专业气室内进行UV灯电离检测，具体反应速度更快、抗干扰能力更强、测量更精准、寿命长久等特点;SGA-900二氯硅烷检测仪系统无线HJ 212协议数据上传，可无缝对接当地环保监测平台;因其卓越性能和良好表现，不仅可以作为企业内的有组织或无组织的气体排放使用，还可以为环保监测等部门提供数据决策支持。
考虑到钢瓶柜的特殊环境，SGA-900二氯硅烷检测仪采用全防腐防爆结构：机身选用耐高温铝合金材质(可定制316L不锈钢材质)，表面喷涂特氟龙涂层，耐受二氯硅烷蒸汽腐蚀，长期使用无锈蚀变形;防爆等级达CT6，适配钢瓶柜高风险存储场景;防护等级 IP67，可应对钢瓶柜周边可能的水汽、粉尘，确保检测稳定。
在安装与功能适配性上，半导体钢瓶柜专用二氯硅烷检测仪系统支持嵌入式与壁挂式两种安装方式，可直接嵌入钢瓶柜侧壁或顶部，不占用存储空间;采样口配备防堵滤芯，避免钢瓶操作中粉尘堵塞气路，同时支持软管延伸至钢瓶阀门、减压阀等泄漏高发点，实现无死角检测。此外，半导体钢瓶柜二氯硅烷检测仪系统具备三级声光报警(分贝值≥85dB)，浓度超标时可通过 RS485 接口联动钢瓶柜紧急切断阀与排风系统 —— 浓度≥0.2ppm 自动启动排风，≥0.5ppm 关闭二氯硅烷钢瓶阀门，彻底阻断泄漏;支持本地存储 10 万条数据，可对接车间监控平台，实时上传检测数据，满足半导体行业合规追溯需求，为二氯硅烷钢瓶柜存储提供即时、可靠的安全防护。
为解决半导体钢瓶柜复杂环境监测需求，深国安SGA-900二氯硅烷检测仪系统可选配集成检测仪、矩阵传感器模组两种技术方案，常规检测仪探头可定制1-6种气体指标，矩阵模组最多可定制1-24种气体指标，支持扩展氧气、碳氢化合物、TVOC、PM2.5、PM10、温湿度、大气压、风速、风向等参数，满足用户不同的监测需求。
粤ICP备13009878号-1 粤公网安备44030702001695号 ? Copyright 2018 深圳市深国安电子科技有限BWIN必赢 All Rights Reserve